ASU criogênica para fabricação de semicondutores

ASU criogênica para fabricação de semicondutores

As unidades criogênicas de separação de ar da Shenger Gas são equipamentos de processo essenciais projetados especificamente para indústrias avançadas, como a fabricação de chips semicondutores. Utilizando tecnologia comprovada de destilação criogênica, eles separam o ar atmosférico em nitrogênio, oxigênio e argônio de pureza ultra-alta-. Centrada no conceito de design de uma ASU criogênica para fabricação de semicondutores, esta linha de produtos garante um fornecimento estável e confiável de gases de processo com níveis de pureza que atingem a faixa ppb — servindo como uma base crítica para manter o rendimento do chip, a consistência do processo e a eficiência geral da produção.
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Introdução de Produto

As unidades criogênicas de separação de ar da Shenger Gas são equipamentos de processo essenciais projetados especificamente para indústrias avançadas, como a fabricação de chips semicondutores. Utilizando tecnologia comprovada de destilação criogênica, eles separam o ar atmosférico em nitrogênio, oxigênio e argônio de pureza ultra-alta-. Centrada no conceito de design de uma ASU criogênica para fabricação de semicondutores, esta linha de produtos garante um fornecimento estável e confiável de gases de processo com níveis de pureza que atingem a faixa ppb -, servindo como uma base crítica para manter o rendimento do chip, a consistência do processo e a eficiência geral da produção.

 

Por que a fabricação de semicondutores exige unidades criogênicas de separação de ar dedicadas?

Os processos de fabricação de semicondutores - como deposição química de vapor, fotolitografia e gravação - exigem pureza de gás extremamente alta, estabilidade e continuidade de fornecimento. Mesmo pequenas quantidades de umidade, oxigênio ou impurezas de hidrocarbonetos podem causar defeitos no wafer ou rejeição completa do lote. A Shenger Gas compreende perfeitamente esses rigorosos requisitos da indústria. Nossas ASU criogênicas para soluções de fabricação de semicondutores são desenvolvidas especificamente para enfrentar esses desafios, - fornecendo suprimentos de gás ultra-puros, estáveis ​​e ininterruptos que protegem o rendimento, a precisão do processo e a confiabilidade da produção.

 

Principais vantagens e recursos

1. Pureza-ultraalta e estabilidade excepcional

  • Por meio da profunda integração de colunas de destilação de vários{0}}estágios e sistemas de purificação de peneira molecular, as ASUs Shenger Gas fornecem consistentemente nitrogênio com níveis de pureza maiores ou iguais a 99,9999%, enquanto as principais impurezas (H₂O, O₂, THC, CO, CO₂) são estritamente controladas dentro da faixa de ppb.
  • Um sistema de controle inteligente compensa efetivamente as flutuações da rede e variações de carga, garantindo pressão e pureza de saída estáveis ​​- atendendo totalmente aos requisitos de produção contínua 24 horas por dia, 7 dias por semana, de fábricas de semicondutores.

2. Alta Confiabilidade e Eficiência Energética

  • Os componentes principais, como trocadores de calor de aletas de placas e válvulas criogênicas, são fornecidos pelas principais marcas internacionais, garantindo alta integração do sistema, taxas mínimas de falhas e um tempo médio entre falhas (MTBF) que excede em muito os padrões do setor.
  • Com um sistema de recuperação de energia otimizado e uma tecnologia turbo-expansora de alta{0}}eficiência, o consumo específico geral de energia por unidade de gás produzido é significativamente reduzido, proporcionando economias substanciais-de custos operacionais de longo prazo para os clientes.

3. Operação Inteligente e Manutenção Remota

  • Equipado com a plataforma de monitoramento "Shenger Smart Gas Cloud" proprietária da Shenger Gas, o sistema permite monitoramento de desempenho-em tempo real, previsão de falhas e análise de eficiência-energética.
  • Ele suporta diagnóstico remoto e assistência técnica, reduzindo drasticamente o tempo de resposta de manutenção e fornecendo serviço pós-venda confiável e eficiente para clientes em todo o mundo.

4. Design Modular e Escalabilidade

  • A arquitetura modular do sistema garante estrutura compacta, transporte conveniente e rápida-instalação e comissionamento no local, reduzindo efetivamente os ciclos de construção do projeto.
  • A capacidade de produção é altamente escalonável, permitindo configuração flexível para acomodar futuras expansões de fábricas - protegendo o investimento-de longo prazo e a sustentabilidade operacional do cliente.

 

Especificações Técnicas (Exemplo Típico)

Parâmetro

Especificação/gama

Gases do Produto

Nitrogênio de alta pureza (HPN₂), oxigênio de alta pureza (HPO₂), argônio de alta pureza (HPAr)

Capacidade de produção de nitrogênio

500 ~ 50.000 Nm³/h (personalizável mediante solicitação)

Pureza do Nitrogênio

Maior ou igual a 99,9999% (até 99,99999%)

Ponto de orvalho

Menor ou igual a –70 graus (configuração opcional abaixo de –100 graus)

Pressão de saída

0,5 ~ 1,2 MPa.G (ajustável)

Principais Impurezas

O₂ Menor ou igual a 1 ppb, H₂O Menor ou igual a 1 ppb, THC (como CH₄) Menor ou igual a 1 ppb

Nota: As especificações acima representam faixas gerais de parâmetros. As configurações finais são determinadas com base nos requisitos específicos do projeto e do processo.

 

Indústrias de aplicação

Aproveitando sua capacidade principal para fornecer suprimentos de gás de pureza ultra{0}}alta-e altamente estáveis, os sistemas de separação criogênica de ar da Shenger Gas servem não apenas como base para a fabricação de semicondutores, mas também são amplamente aplicados em outros setores de-alta tecnologia onde a qualidade do gás é de missão-crítica.

  • Fabricação de tela plana

Para o processo completo de produção de OLED, Micro{0}}LED e outros painéis de exibição da próxima-geração -, incluindo fabricação de array, filtro de cores, montagem de células e encapsulamento de módulos - nossos sistemas fornecem grandes volumes de nitrogênio de ultra-alta-pureza. Isso cria uma atmosfera limpa-livre de oxigênio e umidade-que evita efetivamente a oxidação de transistores-de filme fino e materiais luminescentes orgânicos, garantindo maior rendimento e maior vida útil do produto.

  • Fotovoltaica e Novas Energias

As soluções da Shenger Gas apoiam a indústria fotovoltaica em processos de purificação de silício, crescimento de cristais e revestimento de células, bem como em estágios críticos da produção de baterias de lítio, como secagem de eletrodos, enchimento de eletrólito e vedação -, todos extremamente sensíveis à umidade e ao oxigênio. Nosso fornecimento de gás de alta pureza-confiável e econômico, -eficiente, melhora o desempenho do produto, a densidade de energia e a segurança geral.

  • Produtos-produtos químicos e farmacêuticos de alta tecnologia

Na síntese química fina, produção de materiais especiais e processos biofarmacêuticos, nossos gases são usados ​​para cobertura de reatores, substituição de atmosfera e como gases de alimentação para reações. Com estabilidade excepcional e controle de automação avançado, nossos sistemas criogênicos atendem aos rigorosos padrões do setor quanto à integridade do processo, segurança e consistência do produto.

  • Pesquisa Científica e Aeroespacial

A Shenger Gas fornece ambientes criogênicos e soluções de gases especiais para aplicações de ponta, como experimentos de física de partículas em grande-escala, testes em túnel de vento aeroespacial e pesquisa de materiais supercondutores. O desempenho estável e confiável de nossas ASUs criogênicas apoia o desenvolvimento de infraestrutura científica de nível-nacional e avanços em tecnologias-de ponta.

 

Qualidade e Certificações

A Shenger Gas está comprometida em aderir aos mais altos padrões internacionais de qualidade e segurança. Cada ASU criogênica para sistema de fabricação de semicondutores que fornecemos é projetada, fabricada e testada sob rigorosas estruturas globais para garantir confiabilidade, consistência e conformidade em todos os estágios - desde o projeto de engenharia até a operação em campo.

  • Sistema de gerenciamento de qualidade: certificado pela ISO 9001:2015, garantindo controle de qualidade-completo do processo, desde o projeto, aquisição, fabricação até o serviço pós{3}}venda.
  • Vasos de Pressão e Tubulações: Todos os componentes de pressão crítica e sistemas de tubulação são projetados e fabricados de acordo com a ASME BPVC Seção VIII, Divisão 1, e certificados pelo sistema NB (National Board), garantindo a segurança intrínseca do equipamento.
  • Conformidade elétrica e de segurança: Totalmente compatível com os padrões internacionais IEC/EN e equipado com Sistemas Instrumentados de Segurança (SIS) abrangentes para intertravamento e proteção de processos.
  • Padrões do setor: o design e o desempenho do sistema estão estritamente em conformidade com as diretrizes e práticas recomendadas da SEMI (Semiconductor Equipment and Materials International) para sistemas de fornecimento de gás-de grau semicondutor.

 

Como empresa líder na indústria de gás industrial da China, a Shenger Gas traz mais de 20 anos de experiência em tecnologia criogênica e amplo conhecimento em execução de projetos. Fornecemos não apenas equipamentos avançados, mas também serviços abrangentes de engenharia prontos para uso -, incluindo consultoria de projetos, design de processos, instalação e comissionamento, treinamento operacional e suporte de peças sobressalentes. Escolher nossa ASU criogênica para fabricação de semicondutores significa escolher um parceiro confiável-de longo prazo, dedicado a aumentar a confiabilidade e a competitividade da cadeia de fornecimento global de semicondutores.

 

Se você está procurando uma solução confiável de fornecimento de gás de alta-pureza para seu projeto de fabricação de semicondutores, convidamos você a entrar em contato com a equipe de engenharia da Shenger Gas hoje mesmo. Nossos especialistas experientes fornecerão uma proposta técnica-feita sob medida e um orçamento altamente competitivo para atender aos requisitos precisos do seu projeto.

 

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