Unidade criogênica de separação de ar de alta pureza para eletrônicos

Uma unidade de separação de ar criogênica de alta pureza para eletrônicos fornece 99,999%+ nitrogênio, oxigênio ou argônio contínuos para fábricas de semicondutores, epitaxia de LED e linhas de células fotovoltaicas. A unidade funciona 24 horas por dia, 7 dias por semana, sem ciclagem. As impurezas de saída são normalmente inferiores a 1 ppm de hidrocarbonetos totais e 0,5 ppm de CO₂.

Descrição do Processo

O ar ambiente é comprimido, pré-{0}}resfriado e passado por um skid de purificação que remove água, CO₂ e hidrocarbonetos. O ar limpo entra então em uma caixa fria contendo duas colunas de destilação. A temperatura operacional da coluna está entre -185 graus e -196 graus. A separação ocorre por vaporização e condensação repetidas com base nos pontos de ebulição (N₂: -196 graus, O₂: -183 graus). O produto gasoso é retirado do topo da coluna de alta pressão para nitrogênio ou da coluna de baixa pressão para oxigênio e argônio.

Dados típicos de desempenho

Os valores dependem da temperatura ambiente do local, das condições da água de resfriamento e dos requisitos de pureza final. Confirme com simulação de processo.

Troca de consumo de energia e confiabilidade-

Para qualquer unidade criogênica de separação de ar de alta pureza para eletrônicos, o consumo específico de energia é o maior custo operacional. O projeto usa um turboexpansor de alta-eficiência e colunas de destilação escalonadas para manter a potência dentro da faixa mostrada acima.

No entanto, as fábricas de eletrônicos também enfrentam um alto risco de interrupção. Uma falha no fornecimento de gás pode destruir um lote inteiro de wafers. Portanto, normalmente recomendamos adicionar um tanque de armazenamento de líquido com vaporizador ou uma coluna de reserva. Isto aumenta o custo de capital, mas reduz o risco de perda de produção. Muitos clientes aceitam o custo inicial mais elevado depois de calcularem as suas próprias despesas de tempo de inatividade.

Especificações Técnicas

• Método de separação: retificação criogênica
• Material da coluna: Liga de alumínio 5083 ou aço inoxidável 304/316L
• Sistema de controle: PLC (Siemens ou Rockwell) ou DCS com acesso remoto Modbus TCP/IP
• Hidrocarbonetos residuais no produto: < 1 ppm
• CO₂ após purificação: <0,5 ppm
• Ponto de orvalho do produto: <-70 graus

Opções de personalização

Cada site tem condições diferentes. Nós ajustamos:

• Projetar para alta temperatura ambiente, umidade ou altitude
• Grau de pureza (por exemplo, 99,9995% N₂ apenas - menos estágios de coluna, menor potência)
• Configuração de extração completa (N₂ + O₂ + Ar simultaneamente)
• Integração do sistema de backup de líquido (tanque + vaporizador + troca automática)
• Layout em contêiner ou montado-em skid para locais com espaço-limitado

Exigimos dados do local (condições ambientais, vazão necessária, pureza, pressão) antes de propor um projeto final.

Serviços e Certificações

• Escopo: Projeto de processo, fabricação, instalação no local, comissionamento, treinamento de operadores, suporte de manutenção contínua
• Certificações: ISO 9001, ISO 14001, ASME ou PED (se necessário), licença de vaso de pressão da China
• Referências: Disponível sob NDA. Nenhum nome de cliente é compartilhado sem permissão.

Sobre Shenger Gas

A Shenger Gas projeta e constrói unidades de separação de ar criogênica de alta pureza para eletrônicos com base nas condições reais do local, e não em folhetos pre-definidos. Executamos uma simulação completa do processo para cada projeto. A inspeção da oficina inclui teste de vazamento de hélio e verificação de desempenho a frio. No local, comissionamos até que o gás do produto atenda às especificações por 72 horas consecutivas. Esse é o nosso padrão de transferência. Não há reivindicações sem dados.

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